我们的ICP-MS 7900在3天前分析的时候还是一切正常。昨天正常开机后换了一批氩气，出现点火失败的情况。留意了一下，射频功率在200W的时候，反馈功率在110W左右，当射频功率升到1200W的时候，反馈功率升高到500W降不下来，点火失败。矩管部分在点火的时候有白光的频闪，但是无法形成等离子体。将氩气换回之前的那一批氩气吹扫一段时间，还是同样情况。咨询工程师，在去掉屏蔽片和石英套管后点火正常。1200W的射频功率，反馈功率在20W。但是装回屏蔽片就还是点火失败，一样的情况。请问老师们，可能是什么问题。Agilent说是RF匹配箱可能故障，要换。好多钱呢。。
PS:有个新情况，彻底关闭仪器之后，重新开机抽真空，等离子体可以点着了，但是维持不住，马上就又熄灭了。代码1233，RF错误。