机器是日本电子2100，08年底验收的。近半年来发现真空系统，特别是离子泵不太正常。具体现象是：
1）不插入样品杆，镜筒真空在10^-4Pa，插入样品杆，可以到10^-5，工程师表示测角台可能漏气，这是问题之一；
2）每天测试结束ACD烘烤液氮，发现结束烘烤后IP泵起不来，如果放着不管，第二天早上也十有八九起不来。我的做法是等冷却后设置二次ACD烘烤，这样基本上可以保证第二天早上来的时候真空是正常的；
3）有的时候测试过程中，会突然听到有气动阀响，然后灯丝就灭了（高压没掉），注意到往往这个时候潘宁规PEG的真空示数会有突然的跳动（突然变大），过2分钟再加灯丝就没啥问题，这个问题有时候一天见一两次，有时候几个周碰见一次；
4）平时如与停电，关机后再开机，或者镜筒烘烤后，也经常发现离子泵无法正常启动，通常我会再额外设置一遍ACD烘烤，基本上能开起来，最终的真空度也OK。
5）最关键的一个问题，几周之前，因为电镜要搬家，先让能谱厂家拆掉了能谱，镜筒放了气，然后拆掉能谱后，离子泵就再也无法正常工作了，具体表现是指示灯不亮，手动开启后离子泵的电压仅有一点点（指针稍微动一下），潘宁规最多停留在绿色，但是示数要1000多，长短镜筒烘烤了有3次了，没啥效果。
各位高人帮忙分析一下，是不是离子泵需要更换了？这个东东好贵，而且订货也要好久。很郁闷啊。