回复mmctem发表于:2006/12/11 20:13:00悬赏金额:
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当我再tecnai f30上调节电子束时,每当再direct alignment中点击beam tilt pivot point就可以观察到两个电子束在晃动,请问该怎么调节?是让这两个点重合到一块吗?这种现象时有什么原因引起的?还有就是电子束的中心看起来不是个圆的亮点,而是像个十字架是怎么回事?还有就是电子束的中心看起来不是个圆的亮点,而是像个十字架是怎么回事?在spot size为8的情况下,应该可以进行stem吧,但是当我调节聚焦钮缩小光斑的时候,怎么只见光斑变扁而没有变小啊? 多谢指点。
imrwb 回复于:2006/12/22 15:54:00首先beam tilt pivot point是调节的是束偏转的两组线圈的支点(查help文件)如果不能重合一点,用多功能钮调节至重合。这对rotation center极为重要,你后面所看到的现象除与上述步骤不好之外,还有像散及电子枪的tilt、shift有关,不过在低倍时可观察到十字中心有亮点,这是场发射灯丝所固有的,不过我相信不是你所观察到的。调节光斑大小时见班变偏不小,这与你的对中有很大关系。spot size 在5-11都可作STEM,这与你想干什么有关。
建议你请FEI的application engineer给你好好讲讲。
pivot point用multi-function XY调使斑点重合。