在硅片上沉积了膜，膜无法取下，现需要测试膜的吸收，考虑到膜有反射，希望测试透过率光谱及反射率光谱来得到膜的吸收。现在试了几种方法：
1、用傅立叶变换红外光谱测试。透过率用空白双面抛光硅片做背景，测试透过率；以金镜为背景用镀金的积分球附件测试反射率。结果有些出现反射率?透过率大于100%。
2、用显微红外光谱仪测试。以空气为背景，测试硅片透过率T1，假设硅片对红外光不吸收，其反射率R1=1-T1；以硅片做背景，测试硅片上镀膜反射率R2，样品实际反射率R＝R1*R2；以硅片做背景测试样品透过率T。样品吸收=1-T-R=1-T-(1-T1)*R2。结果也会出现反射?投射大于100%。若用显微红外测试以金镜做背景也会出现这种情况。
各位老师帮我分析一下原因吧，还有测试基底上的膜中红外的吸收应该用什么仪器，用什么测试方法。谢谢谢谢