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共有 2 人回复了该问答penning pressure和pirani pressure 是什么意思呢？
 回复v3248323发表于：2020/8/7 16:42:46悬赏金额：1积分 状态：未解决
赛默飞的icp-ms(iCAP Q) 中penning pressure和pirani pressure 是什么意思呢？
 回复  1# timstoicpms  回复于：2020-08-07 20:10:46
这是两种检测真空度的 仪器/工具 名字：Pirani 皮拉尼，测粗真空，最低是 <1 Pa；Penning 潘宁规，测低真空，最低可小于 1e-5 Pa。
在热电四极杆ICP-MS上，Pirani 指的是点火后，两锥之间的真空度，比如 1.94 mbar = 194 Pa；Penning 指的是后端 四极杆质量分析器-检测器 腔体的真空度，比如 5.77e-7 mbar = 5.77e-5 Pa
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