https://www.tek.com.cn/datasheet/6517b-electrometer-high-resistance-meter
Keithley 6517B 静电计 / 高阻表是全球科研实验室灵敏测量的标准。吉时利在弱电测量方面拥有 60 多年的专业经验，吉时利静电计能够可靠地测量最低 10 aA (10×10-18A) 电流、最低 1 fC 电荷，并支持最高 1018Ω 的电阻测量。6517B 还能够测量高达 200 V 的最大电压范围，输入阻抗超过 200 TΩ。所有这些性能都融合在一台仪器中，操作起来像数字万用表一样简便。

主要特点
测量高达 1018 Ω的电阻
10 aA (10×10-18 A) 电流测量分辨率
6517B、8009 电阻率测试夹具和 KickStart 高电阻率应用相结合，为 ASTM D257 高电阻率测量提供完整的硬件和软件解决方案
<3 fA 输入偏置电流
6 位半高准确度测量模式
最低电流范围上 <20μV 压降
高达 200 V 电压测量，>200Ω 输入阻抗
内置 ±1000 V 电压源
独有高阻测量交换电极电压源和测量方法
内置测试序列，支持四种不同器件表征测试、表面和体电阻率、表面绝缘电阻和电压扫描
选配插入式扫描卡，可使用一个测试设置测试最多 10个器件或材料样本
GPIB 和 RS-232 接口