【序号】：1
【作者】：Marc J. Madou【题名】：
Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization, Second Edition【期刊】：
by CRC Press【年、卷、期、起止页码】：
March 13, 2002【全文链接】：https://www.crcpress.com/Fundamentals-of-Microfabrication-The-Science-of-Miniaturization-Second/Madou/p/book/9780849308260
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