菜鸟求大神教薄膜应力的测试方法_X射线衍射_X射线仪器_仪器问答_仪器信息网

未解决的问题：146743
所有仪器问答：170705

您现在的位置：首页 > 仪器问答 > X射线仪器 > X射线衍射 X射线衍射论坛

共有 1 人回复了该问答菜鸟求大神教薄膜应力的测试方法

回复v3138255发表于：2020/8/30 23:16:53悬赏金额：4积分状态：未解决

最近踩有磁控溅射镀铜，想分析薄膜的参与应力，采用Jade6.5测试了微观应力及晶粒尺寸，选择黄继武老师教材里面建议的用两组平行的晶面作拟合后计算，但是方差很大，显然结果不对，现在心里很没底，想请教下有没有大牛做过这方面的工作，我看到有些大牛采用其他的仪器测试的薄膜应力，甚至还有三位的图出来，都是怎么测怎么算的啊？

1# iangie 回复于：2020-09-07 22:36:53

薄膜有多厚？如果是微米级的用普通的sin2ψ法就可以测
如果是纳米级的最好用GID测应力了，不同的HKL峰的ψ偏角不同，用LEPTOS软件就能求得Residual Stress

扫一扫查看全部1条回复

高级回复快速回复【花三五分钟，帮别人解决一个问题，快乐自己一天！】

未解决问题

相关仪器

相关资料