求助给我版友，老师。
岛津2010 GCMS。仪器关机5天，然后今天开机，真空启动后，想把总流量加大，让其吹扫一下，设置总流量为500ml/min，结果发现仪器报警，载气的压力下降至100多kpa。
我去查看氦气的减压阀，一切正常，但是减压阀表头却显示600多kpa。
我把总流量为50ml/min，载气压力回升至600多kpa。氦气减压阀没有什么变化。
期间我设置了几次，发现只要总流量设置大于100ml/min，载气压力就会随着总流量设置越大下降的越厉害。
我更换了一个减压阀，发现问题依旧；
用肥皂水检差是否有接口漏气，也没有发现； 氦气只用了一个月，还有很多；
检查了进样口，检查了管路，没有发现异常。
求助。。。。。。。。。。。。。。。。。
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[img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/08/201608241922_606668_2190021_3.jpg[/img]