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共有 10 人回复了该问答碳沉积为什么会影响到电镜的拍摄效果？

回复v3125549发表于：2020/7/21 11:54:03悬赏金额：20积分状态：未解决

平时做测试经常会有那种碳沉积严重地样品导致照片效果不理想，一直不理解原理到底是怎样的？还有样品台加偏压为什么会加快碳沉积得速度？请各位大神解惑，谢谢。

1# fengyonghe 回复于：2020-07-24 01:42:03

这个问题真的没看到过详细解释，根据工作原理我做这样的理解。碳原子在电子束的轰击下丢失电子成为正离子，样品受电子束激发其表面会发射各种电子，因此样品表面会呈现一定的负电位，这样带正电的碳离子会附着在样品表面并还原为碳原子，形成碳污染。因此碳污染只发生在电子束扫描的范围内。加偏压后样品表面电位更负，也就更易被碳污染。

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