7月1号设备由于外部突然停电自动关机。7月4号启动设备，打开TCM，发现真空度无法降下去。点击抽真空，发现真空度依然是limH。后点击last error。发现有一串问题。
之后关闭tcm，打开SuperQ，发现无法联机。请问有没有谁遇到过这种问题。这种问题好解决么。[img=,690,284]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/07/201607041249_599056_2604346_3.jpg[/img][img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/07/201607041252_599057_2604346_3.jpg[/img]