问题是这样的：周一来上班的时候发现扫描电镜主机部分真空管道的洞里面发出高频嚣叫声（类似于冰箱压缩机启动的那种声音），声音时断时续的，但电镜还能够工作，由于事先有外单位的联系好要来测样，所以周一就只能顶着噪音继续测样。一直用到下午四五点，都能够使用，就是有持续的噪音。到了周二上班的时候（今天），发现没声音了，真空度也没了，重新pump以后，就听到机械泵抽完真空，然后分子泵一直没声音，界面提示也一直停留在waiting turbo speed，似乎是分子泵不工作了。
电镜是蔡司的supra 55，用了两年不到，刚过质保期，郁闷。联系过蔡司的售后，说是只能整体更换分子泵，价格非常非常高。想请教各位有经验的老师，这种情况是否是分子泵损坏或者是哪里的连接问题？解决方案只能是整体更换分子泵吗？万分感谢！