这个问题太大，如果你不给出具体实验条件，材料，和分析要求，没有办法给你帮助。简单的说，多价态物质可以通过其coreloss的ELNES在细节上分辨出来具体价态然后计算出含量组成。如果需要定量分析，我只推荐在stem下用1nm以下的probe。我通常使用的步骤是：1）找真空位置收集zeroloss来调分辨率和用于后续的定量分析，2）如果仪器允许的话在需要分析的区域ROI同时收集low-loss和core-loss ELNES，3）根据分析要求对low-loss和ELNES做数据处理常规的包括去zeroloss，去multiple scattering，去背景信号，可能需要做不同程度的deconvolution和parameter fitting，4）如果有需要进一步就做更复杂的EELS Simulation
里面每个涉及的点都可以展开变的更复杂，有兴趣可以看egerton的那本宝典。初学的可以看Brydson的那本，如果可以上Gatan的EELS School也可以学不少。