回复v3069965发表于：2020/9/25 9:14:42悬赏金额：
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未解决
我们公司有一台PE Nexion300S，前一天一切正常，正常关机，到了第二天早上火炬点燃后又熄灭，出现漏气的声音，经排查为interface gate 门没有完全关闭，点火时卡在了半截，以前也出现过这种问题，遂找PE工程师。工程师来了后更换了interface里面的O型圈，gate门能自由开合，但是点火后进行setup solution调谐时In的信号特别低，只有3000左右，Neb一直往上升，直到仪器设定的上线1.5都没有到达最大值，我们平时调谐完Neb大概在1.05左右，工程师也是第一次碰到这种情况，没有办法，请教各位大神，这到底是怎么回事？
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