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共有 10 人回复了该问答求助大神!昨日S-3400N突然无法抽真空
 回复hongdesky发表于:2020/8/8 21:18:56悬赏金额:10积分 状态:未解决
      求助大神!昨日S-3400N突然无法抽真空。
      故障现象 :1、出现EVAC和AIR同时双闪  2、电脑显示故障“the  error  of  TMP  vacuum  pump  was  detected"  3 、报警声长鸣
现在机械泵似乎不像之前每逢按EVAC的就有很大声的抽气现象。今日已把机械泵机油换了;样品仓的密封圈也清洗并涂了点油;能谱仪也取出(排除能谱探头窗口破损),请教大神们有遇到过此问题或者有无些建议?谢谢!
 回复  1# mitchell_dyzy  回复于:2020-08-09 08:15:56
TMP是涡轮分子泵,首先考虑它的故障问题。
如果它没问题,再看看机械泵抽真空能抽到分子泵的工作范围吗?
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