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共有 4 人回复了该问答
SEM中的工作距离和Z轴的关系
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polylij
发表于:2020/7/24 21:03:19
悬赏金额:
9积分
状态:
未解决
请问各位专家,SEM中的工作距离(working distance)究竟是如何定义的呢?和Z轴的数值有何关系呢? 在做EDS时需要固定工作距离在一定的数值,但是先定好WD后图像不是很清楚,待把图像调清楚后WD又变化了,该如何解决呢?
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1#
v2658999
回复于:2020-07-25 08:46:19
个人理解:调清楚时的WD才是真实的工作距离,和Z值是对应的
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