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共有 2 人回复了该问答
每次启动电镜30分钟后,机械泵自动停转
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xlbr
发表于:2020/7/22 22:39:08
悬赏金额:
14积分
状态:
未解决
最初是插入样品杆后需要2个多小时,P3才能抽到34;现在发展到每次启动电镜30分钟后,机械泵自动停转,真空上不去。不知是什么原因。
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回复
1#
coime
回复于:2020-07-23 08:08:08
刚启动,机械泵抽的镜筒和照相室,你看看从开机到机械泵停止工作时,各个真空值的变化,记录一下
如果数值是在变化的,说明机械泵没有问题,那么就要看离子泵能正常工作,记录其工作状态,离子泵的工作需要在打到一个真空数量级方可工作,如果低于这个值,又会重新用机械泵抽,如此反复
如果某一个有问题,说明其中的阀门虽然显示是开启的,但是其实是未打开的,需要工程师来测量这个阀门快关的输入电压和信号通畅情况
具体的解决方法,建议直接和工程师对话,如果他们的建议解决不了问题,只能要求其上门检修了
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