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共有 1 人回复了该问答
SEM扫描电镜量测功能的精度有标准吗?
回复
hanliuhanliu911
发表于:2020/7/22 15:48:12
悬赏金额:
20积分
状态:
未解决
SEM扫描电镜量测功能的精度,这个有标准吗?
如果使用标样校正的话,误差多少?
能控制在5%以内吗?
谢谢!
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回复
1#
fengyonghe
回复于:2020-07-22 22:36:12
扫描电镜测长的常用方法标准
常用的与扫描电镜测长直接有关的标准有以下几个:
微米级长度的扫描电镜测量方法(GB/T 16594-94)
金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法(GB/T 12334-2001)
纳米级长度的扫描电镜测量方法 (国家标准讨论稿 )
常用的与测长间接有关,而与扫描电镜检定直接有关的标准有以下一些,主要用于扫描电镜的检定,包括分辩力的检验和放大倍率的校验。
扫描电子显微镜试行检定规程 (JJG(教委) 550-88)
分析型扫描电子显微镜检定规程(JJG(教委) 011- 1996)
电子探针分析仪的检测方法( GB/T15075-94)
微束分析-扫描电镜-图像放大倍率校准导则(陈振宇译)
(周剑雄编写)。
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