具体过程如下：8月5早上8点左右，发现电镜系统真空处于vent状态，查询了系统记录，无报警，之后发现4号晚上7点20抽pump后，真空就未抽上去。之后重新点pump后，发现机械泵工作不正常，不能抽真空。维修好后继续pump，Vac状态由waiting Turbo speed 变为waiting penning，大约2分钟后system Vacuum正常显示，Vac状态=pumping ，5分钟后system Vacuum变灰，Vac状态=waiting Turbo speed ，大约7分钟左右，pump自动停止，Vac状态=at Air。多次测试，情况基本一致，system Vacuum可以抽到1.50e-004mbar左右即变为waiting Turbo speed。之后我们更换了新的机械泵，情况也是一样。

          之前有发现样品室内有真空泵油的味道，联系工程师说可能是机械泵油会吸造成的，建议我们重新更换泵油和密封件。基本情况就是如上所说，烦请帮忙分析下。谢谢！