回复catjason发表于:2020/8/7 16:27:47悬赏金额:
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未解决
具体过程如下:8月5早上8点左右,发现电镜系统真空处于vent状态,查询了系统记录,无报警,之后发现4号晚上7点20抽pump后,真空就未抽上去。之后重新点pump后,发现机械泵工作不正常,不能抽真空。维修好后继续pump,Vac状态由waiting Turbo speed 变为waiting penning,大约2分钟后system Vacuum正常显示,Vac状态=pumping ,5分钟后system Vacuum变灰,Vac状态=waiting Turbo speed ,大约7分钟左右,pump自动停止,Vac状态=at Air。多次测试,情况基本一致,system Vacuum可以抽到1.50e-004mbar左右即变为waiting Turbo speed。之后我们更换了新的机械泵,情况也是一样。
之前有发现样品室内有真空泵油的味道,联系工程师说可能是机械泵油会吸造成的,建议我们重新更换泵油和密封件。基本情况就是如上所说,烦请帮忙分析下。谢谢!