回复v2993025发表于:2020/5/5 16:31:08悬赏金额:
15积分 状态:
未解决
蔡司EVO18,年前两个月出现2-3次真空泵突然停掉的情况,重启一遍后,真空又可以抽上来了。过年断电一周后,真空pump了4次才抽上来,后面好像又正常了。2个月后真空彻底抽不上来,蔡司售后过来说可能是分子泵控制器或者是真空板的问题,这两样东西报价比较高,我们就找别的厂家,判定为控制器的问题,修了一下,结果拿回来后偶尔可以抽起真空,这时新问题又出现了,开枪时电压可以达到目标10KV,电流到200uA时,就报警灯丝断掉,可是实际上灯丝并没有断,这时厂家又说可能需要换高压线,啊啊啊,一波未平,一波又起,好烦啊,有没有朋友帮忙分析一下问题所在?