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共有 2 人回复了该问答离子减薄仪抽真空的绿灯不亮，是分子泵的问题吗？
 回复v2947968发表于：2020/4/23 10:59:31悬赏金额：11积分 状态：未解决
gatan691，样品放入时抽真空的过程中绿灯不亮，是不是分子泵的问题，或是漏气，有没有人遇到过这样的情况。
 回复  1# berry_guo  回复于：2020-04-23 19:35:31
我们刚发生了这种情况，是样品腔上边的盖子的某一个橡皮圈老化漏气了。
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