公司有一台日立S3700扫描电镜，之前更换过一次灯丝，后来就总是调节不清楚，放大倍数2000就开始模糊了，之前是老师傅在使用，我是新手，只知道不清晰时需要重新合轴，自己按照以下步骤试了试，但是效果不明显，完全没有回复之前的状态，是不是更换灯丝之后还需要调节其它什么模块？跪求同样操作此型号机器的大师指点啊！
我的合轴具体操作步骤：1.Operate-filament imge
                                      (1)beam tilt 和beam shift 使得光栅在中心，（这一步我有些不明白的是让光栅那个圆孔在中心，还是让再亮的地方在中心？还有就是调节这步的时候，放多大倍数合适?）
                                      2.点合轴图标，进行合轴
                                        （1）Aperture Align调节物镜活动光阑，使中心不动，放大位置大于20k(这个活动光阑就是物镜上相互成90度的那2个旋扭吧？)
                                        （2）Beam Align.Tilt和Beam Align.shift使得亮度最亮
                                        （3）Stigma Align.X和Stigma Align.Y使得图像中心不动。
跪求各位大神了，我们一般分析的钢铁材料，加速电压20kv，工作距离10mm，灯丝电流80左右吧~~