有个问题请教各位，我有一组样品，由外至内，镀有Au-Ni-Cu的三层镀层，目前我想测试最外层Au层的纯度：

1、样品我有两种规格的，主要是Au层厚度的区别，一种样品是2um厚度的金层，另外一种样品的Au层只有20nm。

2、Au的纯度相对比较高，应该是99%以上。

3、当前，我能想到的方法，2um及以上的Au层纯度，也许可以用SEM-EDS或者EPMA来测。

但是对于20nm的Au层纯度，我目前还真的没有合适的方法，因为SEM-EDS或者EPMA的高能电子束有一定的作用深度，势必会激发下面的Ni或者Cu的成分出来。

请问各位有什么好的方法？