【序号】：1
【作者】：佟洪波 柳青
【题名】：应用模型研究反应溅射制备AlN薄膜过程(英文)
【期刊】：真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集
【年、卷、期、起止页码】：
【全文链接】：http://lib.cnki.net/cpfd/ZGZU200908003060.html

【序号】：2
【作者】：佟洪波 柳青
【题名】：反应溅射制备AlN薄膜靶中毒机制的研究
【期刊】：《真空科学与技术学报》
【年、卷、期、起止页码】：2011年06期
【全文链接】：http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-ZKKX201106018.htm