回复hanc1202发表于:2020/9/13 17:11:40悬赏金额:
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未解决
【序号】:1
【作者】:佟洪波 柳青
【题名】:应用模型研究反应溅射制备AlN薄膜过程(英文)
【期刊】:真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集
【年、卷、期、起止页码】:
【全文链接】:http://lib.cnki.net/cpfd/ZGZU200908003060.html
【序号】:2
【作者】:佟洪波 柳青
【题名】:反应溅射制备AlN薄膜靶中毒机制的研究
【期刊】:《真空科学与技术学报》
【年、卷、期、起止页码】:2011年06期
【全文链接】:http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-ZKKX201106018.htm