【序号】：1
【作者】：陈倩翌
【题名】： 金属有机化合物化学气相沉积设备加热器研究
【期刊、年、卷、期、起止页码】：华中科技大学
【全文链接】： http://www.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?QueryID=1&CurRec=5&recid=&filename=1012011762.nh&dbname=CMFDLAST2012&dbcode=CMFD&pr=&urlid=&yx=&v=MTc3NzNaRWJQSVI4ZVgxTHV4WVM3RGgxVDNxVHJXTTFGckNVUkw2ZVplZHZGeWprVmJ6QlZGMjZITE81SDliS3I=

【序号】：2
【作者】：朱海科
【题名】：金属有机物化学气相沉积设备多腔体气体输运技术的研究
【期刊、年、卷、期、起止页码】： 华中科技大学， 机械制造及其自动化， 2011，
【全文链接】： http://www.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?QueryID=1&CurRec=6&recid=&filename=1012011759.nh&dbname=CMFDLAST2012&dbcode=CMFD&pr=&urlid=&yx=&v=Mjg0NzZyV00xRnJDVVJMNmVaZWR2Rnlqa1c3ekJWRjI2SExPNUg5YkpwcEViUElSOGVYMUx1eFlTN0RoMVQzcVQ=

【序号】：3
【作者】：王亮
【题名】： 研究金属有机物化学气相沉积设备控制系统
【期刊、年、卷、期、起止页码】：华中科技大学， 机械制造及其自动化， 2011
【全文链接】： http://www.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?QueryID=1&CurRec=10&recid=&filename=1012016325.nh&dbname=CMFDLAST2012&dbcode=CMFD&pr=&urlid=&yx=&v=MTEwMDg3RGgxVDNxVHJXTTFGckNVUkw2ZVplZHZGeWpsVTcvS1ZGMjZITE81R05MT3FwRWJQSVI4ZVgxTHV4WVM=