ARL 4460真空度抽不上去，紧急求助_直读光谱_光谱_仪器问答_仪器信息网

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回复lf8025发表于：2020/8/29 1:17:25悬赏金额：14积分状态：未解决

各位大侠，我们使用的是ARL4460直读光谱仪，真空系统是膜泵+分子泵，今天突发状况，真空度报警，现场检查，分子泵无异常声音，正常运行，膜泵也能正常运转，开始半个小时真空度在31左右浮动，我尝试激发了几个点，发现真空度缓慢变化，现在已经升到119了，已经没办法进行正常的检测工作，请各位帮忙分析什么原因。

1# lf8025 回复于：2020-08-29 01:32:25

补充下，膜片泵排气声很大，膜片泵泵体发烫，是不是膜片坏掉了呢？设备用了5年没更换过膜片，各位大侠有没有膜片更换的步骤图片，帮忙解答下，谢谢

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