SEM/EDS如何做特征检测？_扫描电镜_显微镜_仪器问答_仪器信息网

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回复v2873855发表于：2020/7/1 8:49:16悬赏金额：9积分状态：未解决

公司刚买的SEM/EDS，我们是用Future软件跑颗粒的？有没有使用这个功能的亲啊？咨询一下：

1.跑颗粒要用标准样校准亮度和对比度，你们的标准样是怎么做的啊？为什么我每次标定的亮度和对比度都和上次差好多

2.死时间是如何设置的啊？要求死时间在45%-55%之间，但是现在我的死时间只有10%左右！

1# v2942222 回复于：2020-07-01 17:05:16

你用的是什么SEM呢？
（1）跑颗粒的首先要注意的是每次的样品台和图像的角度为0，保证你每次测试的区域是一样的。
（2）在保证标准样校准亮度和对比度之前，首先要保证你的束流基本每次是一致的。
（3）调试死时间之前也要保证你的CPS值在一定范围之内，死时间的调试可以通过调试AMP的时间。

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