原文由 xiongguohai(xiongguohai) 发表:此事新发展，我联系了工程师，按工程师的指示清洗了矩管，换了循环冷却水，再检查了气路，今天终于见到了激动人心的等离子体火焰，幸好RF发生器没坏，后来关闭火焰，又点了一次，很正常，但是在换了一瓶气，驱气完成，准备点火做样时，出现了意外，点时一种黄色的火焰，很快就烧了起来，把炬室都烧黑了，还有灰烬，估计又是气体不纯的惨剧，稍后传图片
原文由 abcpgf(abcpgf) 发表:仪器帮助应该有说明是什么故障的、
ll001 回复于：2014/11/4 8:40:12
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