六氟化硫(SF6)气体目前最大的问题就是泄漏，所以如何检测泄漏的文献资料最多，据统计，目前高压电气设备SF6气体泄漏检测方法中，主要有卤化物测漏仪，气体红外吸收成像、激光光声光谱检测、吸光度-体积分数检测、紫外电离型SF6检漏仪、差分吸收激光雷达检测方法等主动式检测方法和肥皂泡法、包扎法、真空监测、气体红外辐射成像、湿敏电容及传感器测量等被动式检测方法。
通过方法对比并分析，肥皂泡、卤化物检测仪等方法适合用于小型设备方面泄漏的初步判定；红外辐射成像、气体红外吸收和激光光声光谱法适合普通电厂、变电站的常 南段设备泄漏检测；真空监视适用于新装配或检修后重装配未充气的设备；差分激光雷达成本偏高，但精度和实时性灵敏度都高，适用大型电厂电站中的重要设备。
检测六氟化硫(SF6)气体泄漏的新方法推荐：
利用红外光谱吸收技术直接检测六氟化硫(SF6)气体泄漏，可以实现高灵敏度检测和分析，测量精度可高于百万分之一，检测分辨率达到0.1ppm量级，如果再通过设置相应的低损耗光学系统和高灵敏光电探测器，测量精度可进一步提高以满足特殊检测需求。