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回复tiantiantianlan发表于：2014/9/3 16:46:02悬赏金额：5积分状态：已解决

扫描电镜离子泵无法启动，请问一般是什么原因导致的？

v2942222 回复于：2014/9/29 12:40:16

个人经验：
1.先检查机械泵是否能正常工作，看机械泵是否漏气或其他原因。
2.机械泵没问题，且系统真空能达到要求，再检查分子泵是否又问题。
3.机械泵和分子泵没问题，再去检查离子泵。
4.离子泵的问题可能有老化（我们的用了10年），而可能是电路或者真空板有问题。
纯属个人意见，希望对你有帮助。

1# mitchell_dyzy 回复于：2014/9/14 10:26:13

离子泵IGP？那岂不是GUN那部分的真空都无法维持了？有什么提示吗

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