回复v2905766发表于：2020/6/24 19:09:25悬赏金额：
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未解决
想做个EDX mapping， 但是样品比较大直径在150nm， probe size 是0.5 nm 如果扫很多点的话 需要几个小时， 但是如果选少量的点有很多样品有没有扫到，采集时间如果过长3s以上会使样品打穿，但是依旧得到的counts数不够。 还没有试过defocus或者增大convergence angle 把probe size变大，这样的话分辨率会变差但是得到信号会多么？还是可以用其他什么方法？ 大牛们请指点下。
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