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共有 2 人回复了该问答
请教扫描电镜真空系统工作过程
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v2855193
发表于:2020/3/17 19:41:36
悬赏金额:
10积分
状态:
未解决
大家好,我们用的是场发射JSM-7001F,您能给我说下真空系统的工作过程吗?一直很糊涂。这个图能帮忙详细解释一下吗?图中的各种阀门还有泵,都指的是什么?他们的工作过程是什么样子的?
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回复
1#
mitchell_dyzy
回复于:2020-03-24 18:29:36
各种V是valve阀门,RP是旋转泵,DP是扩散泵,SIP是离子泵吧,PIG应该是潘宁规,PEG也是什么规,都是监测真空值的。
工作原理就是泵从下往上一级一级的抽,到了各自的真空管辖范围就开始工作。离子泵是维持GUN的真空的,一直工作。V2左边和N2气瓶连接在一起,出样的时候往样品室充N2去掉真空。
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