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回复v2855193发表于：2020/3/17 19:41:36悬赏金额：10积分状态：未解决

大家好，我们用的是场发射JSM-7001F,您能给我说下真空系统的工作过程吗？一直很糊涂。这个图能帮忙详细解释一下吗？图中的各种阀门还有泵，都指的是什么？他们的工作过程是什么样子的？

1# mitchell_dyzy 回复于：2020-03-24 18:29:36

各种V是valve阀门，RP是旋转泵，DP是扩散泵，SIP是离子泵吧，PIG应该是潘宁规，PEG也是什么规，都是监测真空值的。

工作原理就是泵从下往上一级一级的抽，到了各自的真空管辖范围就开始工作。离子泵是维持GUN的真空的，一直工作。V2左边和N2气瓶连接在一起，出样的时候往样品室充N2去掉真空。

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