电感耦合等离子体质谱－ICP-MS，是一种新型的无机元素和同位素分析技术，可快速同时检测周期表上几乎所有元素。ICP-MS技术在分析能力上，超过传统的无机分析技术如电感耦合等离子体光谱技术(ICPAES)、石墨炉原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收技术(CVAAS)的总和，被称为当代分析技术最激动人心的发展。

ICP-MS技术的应用领域包括：
● 环境样品分析，包括自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、废弃物等的分析；
● 半导体材料分析
● 玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析；
● 地质学研究；
● 生物食品及医药临床研究；
● 核材料分析
● 石油化工样品分析；
● 法医应用与研究；
● 最近，与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为ICP-MS技术应用的一个焦点。

ICP-MS分析特性：
● 可快速同时检测周期表上几乎所有元素
● 最低的检出限（低至ppq级）
● 分析效益/成本比最佳
● 最宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度
● 谱线最简单、干扰最小，准确度和精密度好
● 需要样品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1〜3分钟/样品）
● 检测模式灵活多样

半导体工业常用材料中超痕量污染物分析：
固体：Si;GaAa单晶切片；石英、碳化硅等炉材料；高纯金属电极等
液体：超纯水；HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
气体：SiH4;TE0S;NF3;N2等


而LC-MS一般用于分析有机物，如药物、食品添加剂等