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共有 3 人回复了该问答钢基体上溅射的2um多层合金膜怎么做断面样品？
 回复moralist发表于：2006/8/5 10:03:00悬赏金额：20积分 状态：未解决
多层的合金膜经过热处理，不同的厚度会有不同的相生成，想看一下截面。

问题是我在一块大的低碳钢基片上溅射膜的尺度仅为4mm*4mm*2um，要做这么小位置的SEM断面样品怎么做啊？以前在Si基片上很容易，现在钢基片那么硬，而膜又比较薄，真想不出什么好办法。

各位帮忙想想办法吧。

谢谢！
 回复  1# szvc  回复于：2006/8/7 17:11:00
只能镶嵌了，做截面看了
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