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回复v2653428发表于：2020/7/9 2:30:06悬赏金额：11积分状态：未解决

STEM模式下，一般是先用STEM image做参考，调节condensor stigmator, 然后退出diffraction模式，如果probe不圆，再用objective stigmator把它调圆。

想问一下为什么？物镜是最后的probe forming lens, 那如果objective stig不对，应该也会影响分辨率吧。

1# coime 回复于：2020-07-09 09:09:06

物镜有像散肯定会影响分辨率，而且很直接也很明显

至于像散造成的具体原因建议最好拿相关的说看看，如果将电子束的传播路线理解成光路图一样，那么物镜就像相当于将光路汇聚，但是汇聚的地方不能看能一个点，而是一个盘，当然形成的盘越小分辨率相应的也应该越高，如果汇聚成的盘是扁的，说明在某个方向的电子束汇聚程度不一样，形成的像必要是虚的，这就需要有个像散调节器要人为的调节，达到接近理想的状态

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