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回复书生人家发表于：2020/9/29 15:19:03悬赏金额：2积分状态：未解决

求助楼主：

我的仪器是JSM 6701F ，做能谱的时候当WD和Z距离基本一致，且图像调清楚时，从8-15mm任何位置的采集速率都很低。但当WD与Z位置不一致，相差2-5mm时，图像也能调清楚，但此时的采集速率可以满足能谱的要求，不知是为什么？

在做能谱的条件下，图像2万倍以上就很难调清楚，除了调焦和象散以及Z轴外，还需要调其他的地方吗？

1# asahi42 回复于：2020-09-29 20:57:03

SEM在工作状态下WD和Z应该被Link成一致，否则既不安全，也不利于重复实验条件。
能谱要求大束流，大束流的代价是牺牲分辨率，因此不能指望在做能谱的条件下高倍得到理想的SEM照片。另外，因为能谱空间分辨率很差，2W倍的照片的能谱点分析没有什么可信度。

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