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共有 13 人回复了该问答怎么做Pt溅射镀膜厚度检查

回复iangie发表于：2020/9/20 11:11:27悬赏金额：4积分状态：未解决

SEM版的朋友们大家好~

我们的Pt sputtering coater通常使用范围是做2-10nm 厚的coating.

溅射仪上有基于晶体震荡原理的thickness monitor, 但是我们不太相信. 想做独立的厚度检查.

你们知道怎么测量这么薄(2-10nm)的镀层厚度吗? 基体为玻璃片.

谢谢~

1# v2664607 回复于：2020-09-20 12:33:27

我的经验一般溅射仪上的测厚结果都比较准确，如果你不相信，直接把镀好确定厚度Pt膜（最好厚点例如大于10nm）的样品断面抛光（最好采用离子刻蚀法）在电镜下直接测量厚度。当然你需要先校准扫描电镜标尺。

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