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共有 20 人回复了该问答
热电分子涡轮泵不工作
回复
tyk000
发表于:2020/9/20 10:31:59
悬赏金额:
13积分
状态:
未解决
求助各路高手指点迷津!
热电DSQII单四极杆气相质谱,清洗离子源后开机,前级压力达到48毫托,但分子泵及分子泵转速项均显示FAULT,从离子腔上方查看分子泵的叶轮不动,打开玻璃罩用银针可以轻松拨动叶轮,求教可能原因
多谢各位答疑。经工程师现场确认,确实为电源接触不良。目前先将就用了,估计离下岗的日子也不远了!
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回复
1#
tang566
回复于:2020-09-20 12:10:59
系统有漏气时,分子涡轮泵也不会转,检查其它位置的接口都已接好。
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