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共有 1 人回复了该问答关于E-1010离子溅射仪
 回复hhurtb发表于：2020/9/13 11:00:36悬赏金额：5积分 状态：未解决
（1）在较长时间抽真空后，E-1010离子溅射仪的泵中的油大量进入样品室，然后漏进仪器里面，求原因？（2）仪器里面的油无法全部清理干净，继续进行喷镀，会有危险吗？

 回复  1# wccd1  回复于：2022-01-09 13:30:36
真空漏油是真空泵的问题，只有更换无油真空泵才能彻底解决漏油问题。
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