原文由 aqia(v2785707) 发表:
用的是Agillent 7700，上周在做实验时，等离子体总是点火没多久就熄灭，系统提示：IF/BK压力太小。查维护文件，里面解释说可能是锥孔堵塞了，大家有碰到这样的问题没？

你把 IF/BK 真空度、四极杆真空度 两个仪表盘调出来出来，观察是哪个阶段熄火的？

(1) 仪器待机时，IF/BK通常<2 Pa，四极杆真空<4e-5 Pa；
(2) 刚点着火，IF/BK 跃升到 260-280 Pa；炬箱向采样锥方向移动。
(3) 点火后60秒后，听到“嗖”的一声，隔离阀(Slide gate)打开
(4) 隔离阀打开，稳定3-4分钟后，IF/BK通常260-280 Pa，四极杆真空<2e-4 Pa；
(5) IF/BK过高，可能是采样锥孔扩大，也可能是没有拧紧双锥、采样锥后的石墨垫圈破损。IF/BK过低，则可能是锥孔堵塞。版面上遇到得比较多的是 IF/BK 过高这种情况。