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共有 2 人回复了该问答有谁知道日本的E-1030的离子溅射仪的仪器参数吗？比如喷金速率，溅射面积等等。谢谢大家！！1
 回复v2782274发表于：2020/9/1 16:34:06悬赏金额：10积分 状态：未解决
有谁知道日本的E-1030的离子溅射仪的仪器参数吗？比如喷金速率，溅射面积等等。谢谢大家！！
 回复  1# asahi42  回复于：2020-09-01 17:52:06
厄…这个机器在N久以前就已经停产了…我这里只有E-1045的数据，是这款机器的升级版。

金靶：35nm/min；铂靶：15nm/min；溅射面积：60mm。

仅供参考。
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