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共有 9 人回复了该问答ICP的安全问题
 回复v2761015发表于：2020/7/15 18:23:18悬赏金额：12积分 状态：未解决
搞光谱分析的各位大家好，

我们实验室是是搞ICP等离子体刻蚀的。自己买了个ICP炬管，通入的是氩气和CF4，接上13.56Mhz射频电源，激发出等离子体，光很强烈（目测）（无任何防护措施）。

我的疑虑是，这样的方式会不会有 紫外或x射线或其他有害辐射呢？ 这关系到我们实验室人员的身体安全，都是20多岁的学生，真心求助
 回复  1# xurunjiao5339  回复于：2020-07-15 19:05:18
辐射是肯定有的，一定要做好保护措施
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