电感耦合等离子体原子发射光谱分析中，金属元素几乎都是以气态的、单个的原子存在（原子蒸汽），以金属离子蒸汽状态存在的比例极低。ICP的作用是产生超高温，使送入ICP的溶液中的元素完全转化（还原）-离解成单个的中性原子，并被激发到高能态（从基态跃迁到激发态），高能态原子跳回基态时以光能的形式释放出多余的能量，而这个能量的大小只与跃迁的能级差有关，因而指定元素的发射光谱的波长是定值，是定性分析的依据，也是测定元素时选择波长的依据，谱线的强度与原子浓度有关，是定量依据。元素的原子光谱线有多达上万条，但最特征、最灵敏的一般是基态与第一激发态间的跃迁谱线，称为第一共振线，是定量分析时主要选择的谱线。
原子光谱分析中也会产生离子谱线，但几率比原子谱线小得多，碱金属元素（钾、钠等）产生的几率大一些。如果原子光谱分析中产生了不可忽略的离子谱线，它的波长与原子谱线的波长不同，则原子谱线的强度就会降低，测定灵敏度会降低，在普通的原子发射光谱分析中，出现这种情况时，可以往溶液中加入一些更易电离的盐，如铯盐，在高温原子气氛中，它产生大量的电子，抑制了钾、钠的电离，因而可以消除钾、钠的电离影响。而在ICP-AES中，数量巨大的氩气电离，产生数目巨大的电子，完全抑制了金属离子的电离，因而ICP-AES中，几乎只出现原子光谱，消除了电离干扰。