昨天拆了矩管下来洗，上午装上工作正常，一直分析样品到下午三点，歇了半小时（未关闭plasma），三点半又有样品，做了一个标样确认后开始分析样品，就意外熄灭了，打电话咨询工程师让我发了黑匣子记录过去，我仔细看后发现是下面几条出了问题

Entry,Date,Time,Ids1,Ids2,Vout,Power,

272,07/05/13,15:33:34.67,18.4,18.8,38.95,1143,

273,07/05/13,15:33:34.69,16.8,17.1,38.98,1044,

274,07/05/13,15:33:34.71, 9.0, 9.6,38.93,571,

275,07/05/13,15:33:39.19, 2.2, 2.4,24.82,91,

可见是Ids1,Ids2,Vout,Power数值突然降低，后面的两个可以理解，前面的Ids1,Ids2是什么意思？

现在为止工程师也没回复我，唉