购置XPS，首先要考虑性能是否满足科研需要：
主要考虑以下几个指标：
1.空间分辨率。想要关心多大分析面积。
2.灵敏度。对低含量元素的分析时，灵敏度关系到检测下限和信噪比。
3.能量分辨率。当分析化学状态时，合适的灵敏度关系到价态是否可以分开。
三个参数互相关联。
其次，这种大型设备，需要定期维护才能使仪器处于良好的工作状态，所以要查看售后服务情况。主要考虑以下几个指标：
1.售后工程师数量。
2.配件库存
3.已有用户的评价
4.如果有每台仪器、每次服务的记录更好。这样可以查看工程师平均到场时间，仪器年使用率等。
目前国内主要有三家厂商：
Ulvac-PHI
Thermo
Kratos
Ulvac-PHI是专注做表面分析仪器的，在国际上拥有超过50%的使用者；
Thermo是收购V-G的厂，在国内有大量的用户。
个人意见，仅供参考。还是打电话给各厂商的应用工程师和销售工程师询问一下。