昨天下午，前提：机器system vacuum为1.4-e-4pa，gun vacuum为1.7--e-7pa。。。按照正常情况vent 准备换样，没想到一点vent，发现灯丝直接灭了（可能是因为灯丝真空太低的保护状态），然后看真空发现gun vacuum为4--e-4pa。。。ps：途中听见gun head那里有点小响声，估计是关灯丝的声音。。。慌乱中，在没有开腔的情况下，直接又开始pump抽真空。。。抽了一夜后，发现gun vacuum为了1.9-e-5pa。。。今天，打电话给工程师，说我做错了一个动作，就是发现gun vacuum掉到-4pa时，应该关机，打开bypass阀门，然后在关闭bypass阀门 然后在重新抽。。。不然，按照我这样做有可能会导致离子泵烧坏。。。今天摸了摸离子泵发现确实是温温的，不是很热。。。求老师解答为什么要这样做？