前不久开帖咨询版友，很感谢版友的热心解答 ，很想自己把问题解决，为公司节约资金的，最后还是迫于无奈，申请维护，费用很高。。。想着就心痛。才几个小时就花了几大W。。

问题描述：

之前出现问题是，仪器待机时候真空度偏高200pa左右，但是当在操作superq软件里面的“close cap”盖上仪器盖子后，真空度能够下降到8pa左右。，之前一直认为是进样口附近的几个o型圈老化造成，但是取出，擦拭，效果改善不明显，后来有怀疑是顶杆pluger运动不到位，力度不够，造成密封不严。没去尝试。算了，废话不多说。

最终问题原因：仪器预除尘系统，电磁阀灰尘太多。。清理电磁阀后，恢复正常。（售后工程师都是找了很久才找到这里出问题了的。。）

该预除尘系统在仪器前盖板取下后左手边可以看到。