ICP-MS中，使用较多的雾室主要有：
Scott双通道雾室 ( double-pass spray chamber)
    ICP-MS 仪器最常使用的雾室利用雾化室内壁上的湍流沉降作用，或利用重力作用除去较大的雾滴，内层同心管可减少信号强度的随即波动。
缺点：死空间多，易引起记忆效应。
旋流雾室 ( cyclonic spray chamber)：
利用离心力分离大雾粒，雾粒被雾室内切向引入的气流和气溶胶产生的涡流来分离不同粒度的雾粒。
缺点：精密度差一些，氧化物水平较高。
撞击球雾室 (impact bead spray chamber)
利用雾室内嵌撞击球截阻气溶胶的方法分离大雾粒，气溶胶进入雾室后直接撞击到雾室内的球体表面，大雾粒被甩落到底部排出。