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共有 3 人回复了该问答
问一下物镜象散,FEI TF30
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risohuang
发表于:2020/5/9 15:54:38
悬赏金额:
15积分
状态:
未解决
调物镜象散时,focus step设为2,调节focus时,正常情况下,很轻松地就能把圆圈变多或少(小或者大)。
但是我碰到过几次,那几个圆圈小小的,很难改变。
感觉应该是偏离正确值太远了,但即使大幅度调节MFX、MFY,还是调不回来。
这时我没有别的办法,只有把以前保存的FEG参数重新调出来使用。
现在想起来问问大家,应该有个解决的方法或者避免的方法吧?
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回复
1#
v2653428
回复于:2020-05-16 04:33:38
首先得确定样品在eucentric height, 而且eucentric focus is correct. 在合适的放大倍数下,在amorphous area是可以看到thon ring的,就是你说的小圈圈。
focus step2 is relatively fine, 你可以换到5,调focus, 大概知道离eucentric focus差多少,哪个方向.
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