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共有 10 人回复了该问答
各位大神,跪求,谁用过Gatan 691做过截面样品的离子减薄,有问题请教
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wengfang2011
发表于:2013/4/27 17:56:49
悬赏金额:
10积分
状态:
未解决
想做STO薄膜的截面样品,想询问一下样品放置在样品夹上和仪器里的位置,有没有注意的。因为上次减薄直接把薄膜打掉了,还有减薄参数怎么设定,急求!
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回复
1#
coime
回复于:2013/4/27 18:44:36
是不是你在高能高角度下长时间轰击造成的,你可以选择降低离子束的能量和角度,用多级减薄(能量逐渐降低,角度逐渐减少),特别是看到有光亮的时间,就要马上降低离子枪的能量,降低角度
至于参数,这个对于不同样品选择是不同的,有的样品厚,有的薄,何况你的是截面样品
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